以高壓液體作為驅(qū)動源的伺服系統(tǒng)。液壓伺服系統(tǒng)是由液壓動力機(jī)構(gòu)和反饋機(jī)構(gòu)組成的閉環(huán)控制系統(tǒng)﹐分為機(jī)械液壓伺服系統(tǒng)和電氣液壓伺服系統(tǒng)(簡稱電液伺服系統(tǒng))兩類。其中﹐機(jī)械液壓伺服系統(tǒng)應(yīng)用較早﹐主要用於飛機(jī)的舵面控制和機(jī)床仿型裝置上。隨著電液伺服閥的出現(xiàn)﹐電液伺服系統(tǒng)在自動化領(lǐng)域佔有重要位置。很多大功率快速響應(yīng)的位置控制和力控制都應(yīng)用電液伺服系統(tǒng)﹐如飛機(jī)﹑導(dǎo)彈的舵機(jī)控制系統(tǒng)﹐船舶的舵機(jī)系統(tǒng)﹐雷達(dá)﹑大炮的隨動系統(tǒng)﹐軋鋼機(jī)械的液壓壓下系統(tǒng)﹐機(jī)械手控制和各種科學(xué)試驗裝置(飛行模擬轉(zhuǎn)臺﹑振動試驗臺)等。
         液壓伺服系統(tǒng)與電氣伺服系統(tǒng)相比有三個優(yōu)點﹕(1)體積小﹐重量輕﹐慣性小﹐可靠性好﹐輸出功率大﹔(2)快速性好﹔(3)剛度大(即輸出位移受外負(fù)載影響小)﹐定位準(zhǔn)確。缺點是加工難度高﹐抗污染能力差﹐維護(hù)不易﹐成本較高。
         電液伺服系統(tǒng) 電液伺服系統(tǒng)是一種由電信號處理裝置和液壓動力機(jī)構(gòu)組成的反饋控制系統(tǒng)。最常見的有電液位置伺服系統(tǒng)﹑電液速度控制系統(tǒng)和電液力(或力矩)控制系統(tǒng)。
         圖1 電液位置伺服系統(tǒng) 是一個典型的電液位置伺服控制系統(tǒng)。圖中反饋電位器與指令電位器接成橋式電路。反饋電位器滑臂與控制對象相連﹐其作用是把控制對象位置的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化。反饋電位器與指令電位器滑臂間的電位差(反映控制對象位置與指令位置的偏差)經(jīng)放大器放大后﹐加於電液伺服閥轉(zhuǎn)換為液壓信號(圖中A ﹑B )﹐以推動液壓缸活塞﹐驅(qū)動控制對象向消除偏差方向運動。當(dāng)偏差為零時﹐停止驅(qū)動﹐因而使控制對象的位置總是按指令電位器給定的規(guī)律變化。
         電液伺服系統(tǒng)中常用的位置檢測元件有自整角機(jī)﹑旋轉(zhuǎn)變壓器﹑感應(yīng)同步器和差動變壓器等。伺服放大器為伺服閥提供所需要的驅(qū)動電流。電液伺服閥的作用是將小功率的電信號轉(zhuǎn)換為閥的運動﹐以控制流向液壓動力機(jī)構(gòu)的流量和壓力。因此﹐電液伺服閥既是電液轉(zhuǎn)換元件又是功率放大元件﹐它的性能對系統(tǒng)的特性影響很大﹐是電液伺服系統(tǒng)中的關(guān)鍵元件。液壓動力機(jī)構(gòu)由液壓控制元件﹑執(zhí)行機(jī)構(gòu)和控制對象組成。液壓控制元件常採用液壓控制閥或伺服變量泵。常用的液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)有液壓缸和液壓馬達(dá)。液壓動力機(jī)構(gòu)的動態(tài)特性在很大程度上決定了電液伺服系統(tǒng)的性能。