3D激光檢測：支持微凸點(diǎn)技術(shù)
Reza Asgari, Rudolph Technologies, Inc.
微凸點(diǎn)晶圓的出現(xiàn)使測量和檢測技術(shù)面臨著巨大的挑戰(zhàn)，對該技術(shù)的最基本要求是任一可行的檢測技術(shù)必須能達(dá)到測量微凸點(diǎn)特征尺寸所需的分辨率和靈敏度。在50
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